| Обозначение | IEC 62047-34(2019) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 34. Методы испытаний на пластине пьезорезистивных пневмодатчиков микроэлектромеханических систем (MEMS) |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 34: Test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device on wafer |
| МКС | 31.080.99; 31.140 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 05.04.2019 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 16 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |