| Обозначение | DIN 50452-1-1995 |
| Заглавие на русском языке | Жидкости для полупроводниковой технологии. Метод гранулометрического анализа. Часть 1. Микроскопический метод |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 1: Microscopic determination of particles |
| Дата опубликования | 01.11.1995 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50452-1(1988-09) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 4 |
| Перекрестные ссылки | ASTM F 312(1969)*ISO 4407(1991-06)*VDI 2083 Blatt 1(1995-04)*VDI 2083 Blatt 7(1992-10)(Draft) |
| Код цены | Preisgruppe 5 |
 |