| Обозначение | DIN 50446-1995 |
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение типов и плотности дефектов в эпитаксиальных слоях кремния |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of defect types and defect densities of silicon epitaxial layers |
| Дата опубликования | 01.09.1995 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50446(1992-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 10 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50433-1(1976-12)*DIN 50434(1986-02)*DIN 50436(1976-10)*DIN 50441-2(1982-04)*DIN 50443-1(1988-07)*DIN 50454-1(1991-11)*ASTM F 47(1987)*ASTM F 80a(1988)*ASTM F 154(1984)*ASTM F 522(1984)*ASTM F 523(1983)*ASTM F 815(1983)*ASTM F 928(1986)*ASTM F 1049(1987) |
| Код цены | Preisgruppe 8 |
 |