Обозначение | ISO 16531:2020 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Методы выравнивания ионного пучка и связанное с этим измерение тока или плотности тока для профилирования глубины в AES и XPS |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis Depth profiling Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS |
Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
Обозначение заменяемого(ых) | ISO 16531:2013 |
ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 2 |
Дата опубликования | 05.10.2020 |
Количество страниц оригинала | 26 |
Код цены | D |
Примечание | |
|