| Обозначение | ГОСТ Р 71994-2025 |
| Полное обозначение | ГОСТ Р 71994-2025 |
| Заглавие на русском языке | Системы подготовки воды для электронной промышленности |
| Заглавие на английском языке | Systems of ultrapure water treatment for electronics industry |
| Дата введения в действие | 01.11.2025 |
| Дата огр. срока действия | |
| ОКС | 13.060.25 |
| Код ОКП | |
| Код КГС | |
| Код ОКСТУ | |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на системы получения и распределения ультрачистой (деионизованной) воды для производства изделий электронной техники.
Настоящий стандарт содержит требования к ультрачистой воде. Классификация воды по качеству введена в зависимости от топологии технологического процесса производства микросхем.
В настоящем стандарте установлены требования к системам получения и распределения ультрачистой воды. Требования стандарта распространяются на проектирование, монтаж, ввод в эксплуатацию, испытания, эксплуатацию и техническое обслуживание систем подготовки ультрачистой воды |
| Ключевые слова | ультрачистая вода, деионизованная вода, сверхчистая вода, электронная промышленность, ионобменная смола, обратный осмос, ультрафильтрация, проводимость, общий органический углерод |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Наличие терминов РОСТЕРМ | |
| Вид стандарта | Стандарты на продукцию (услуги) |
| Вид требований | |
| Дескрипторы (английский язык) | |
| Обозначение заменяемого(ых) | |
| Обозначение заменяющего | |
| Обозначение заменяемого в части | |
| Обозначение заменяющего в части | |
| Гармонизирован с: | |
| Аутентичный текст с ISO | |
| Аутентичный текст с IEC | |
| Аутентичный текст с ГОСТ | |
| Аутентичный текст с прочими | |
| Содержит требования: ISO | |
| Содержит требования: IEC | |
| Содержит требования: СЭВ | |
| Содержит требования: ГОСТ | |
| Содержит требования: прочими | |
| Нормативные ссылки на: ISO | |
| Нормативные ссылки на: IEC | |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 31958-2012;ГОСТ 34786;ГОСТ Р 58810;ГОСТ Р 71172-2023;ГОСТ ISO/IEC 17025 |
| Документ внесен организацией СНГ | |
| Нормативные ссылки на: Прочие | |
| Документ принят организацией СНГ | |
| Номер протокола | |
| Дата принятия в МГС | |
| Присоединившиеся страны | |
| Управление Ростехрегулирования | 1 - Управление стандартизации |
| Технический комитет России | 184 - Обеспечение промышленной чистоты |
| Разработчик МНД | |
| Межгосударственный ТК | |
| Дата последнего издания | 31.03.2025 |
| Номер(а) изменении(й) | |
| Количество страниц (оригинала) | 66 |
| Организация - Разработчик | Акционерное общество «НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ КОМПАНИЯ МЕДИАНА-ФИЛЬТР» (АО «НПК МЕДИАНА-ФИЛЬТР») |
| Статус | Принят |
| Код цены | 5 |
| На территории РФ пользоваться | |
| Отменен в части | |
| Номер ТК за которым закреплен документ | 184 |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | 192-ст |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | 20.03.2025 |
 |