ТУ 48-4-473-86 | | Структуры кремниевые однослойные обращаемые эпитаксиальные |
|
|
 |
Библиография Обозначение | ТУ 48-4-473-86 | Заглавие на русском языке | Структуры кремниевые однослойные обращаемые эпитаксиальные | Дата введения в действие | 01.01.1987 | Коды КГС | Э23 | Количество страниц | 46 | Премичание | |  |
|
 |
Изменения |
Стандарт ТУ 48-4-473-86 входит в рубрики классификатора:
| |
|