Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/3398878.aspx

ТУ 48-4-542-90

Структуры кремниевые эпитаксиальные с переменным уровнем легирования

Неактуализированная версияПоложить в корзину
Заказать перевод

Библиография

ОбозначениеТУ 48-4-542-90
Заглавие на русском языкеСтруктуры кремниевые эпитаксиальные с переменным уровнем легирования
Дата введения в действие01.01.1991
Коды КГСВ51
Количество страниц91
Премичание

Стандарт ТУ 48-4-542-90 входит в рубрики классификатора: