ОСТ11-055.003-78 | | | Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | ОСТ11-055.003-78 | | Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу | | Код КС (ОКС, МКС) | 31.080 | | Код КГС | Т53 | | Количество страниц (оригинала) | 21 | | Примечание | | |
|
|
Стандарт ОСТ11-055.003-78 входит в рубрики классификатора:
| | | | | |
|