| Обозначение | ОСТ11-0599-88 |
| Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый. Метод измерения концентрации примесей |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.07.1989 |
| Дата огр. срока действия | 01.01.1991 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 29.045 |
| Код КГС | В59 |
| Код ОКСТУ | 6309 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 470929;470181 |
| Ключевые слова | полупроводниковые материалы кремниевые - анализ;кремний полупроводниковый;измерение концентрации примесей |
| Вид требований | Документ имеет отметку *;30 - значение в словаре отсутствует |
| Количество страниц (оригинала) | 20 |
| Примечание | |
 |