| Обозначение | ОСТ4-055.000-87 |
| Заглавие на русском языке | Микросхемы интегральные полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу наращивания эпитаксиальных пленок кремния |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.01.1988 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 31.200 |
| Код КГС | Т53 |
| Код ОКСТУ | 6231;6204 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 471311 |
| Ключевые слова | микросхемы интегральные-производство;эпитаксиальные пленки;кремний;наращивание;радиоэлектроника;технология;руководящие материалы |
| Вид требований | Документ зарегистрирован без экспертного заключения |
| Количество страниц (оригинала) | 13 |
| Примечание | |
 |