| Обозначение | ОСТ4-071.077-84 |
| Заглавие на русском языке | Система автоматизированного проектирования. Микросхемы полупроводниковые. Промежуточные фотооригиналы. Общие технические условия |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.07.1985 |
| Код КГС | Т52 |
| Код ОКСТУ | 0014 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 505119 |
| Ключевые слова | промежуточные фотооригиналы;фотоповторители;микросхемы полупроводниковые;система автоматизированного проектирования;изготовление фотошаблонов;изготовление микросхем |
| Вид требований | Неклассифицируемые категории;Показатели данного НД несопоставимы с показателями других НД |
| Количество страниц (оригинала) | 29 |
| Примечание | |
 |