ОСТ4-054.064-84 | | | Подложки полупроводниковых интегральных схем. Механическая обработка. Типовые технологические процессы |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | ОСТ4-054.064-84 | | Заглавие на русском языке | Подложки полупроводниковых интегральных схем. Механическая обработка. Типовые технологические процессы | | Дата введения в действие (опубликования) | 01.07.1985 | | Дата огр. срока действия | 31.12.1999 | | Код КС (ОКС, МКС) | 31.200 | | Код КГС | Т53 | | Код ОКСТУ | 6204 | | Индекс рубрикатора ГРНТИ | 672317;811407 | | Вид требований | Требования единые гарантирующие конкурентноспособность на мировом рынке | | Количество страниц (оригинала) | 76 | | Примечание | | |
|
|
Стандарт ОСТ4-054.064-84 входит в рубрики классификатора:
| | | | | |
|