| Обозначение | ОСТ107-440001.003-91 |
| Заглавие на русском языке | Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические требования |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.01.1992 |
| Дата огр. срока действия | 01.01.1997 |
| Код КГС | Э71 |
| Код ОКСТУ | 6360 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 501313 |
| Ключевые слова | микросхемы интегральные - производство - оборудование;оборудование;микроэлектроника |
| Вид требований | Документ зарегистрирован без экспертного заключения |
| Количество страниц (оригинала) | 35 |
| Примечание | |
 |