ОСТ4-054.058-80 | | | Подложки микроэлектроники прецизионные. Доводка и полирование. Типовые технологические процессы |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | ОСТ4-054.058-80 | | Заглавие на русском языке | Подложки микроэлектроники прецизионные. Доводка и полирование. Типовые технологические процессы | | Дата введения в действие (опубликования) | 01.07.1982 | | Код КС (ОКС, МКС) | 31.200 | | Код КГС | Т53 | | Код ОКСТУ | 0003 | | Индекс рубрикатора ГРНТИ | 672317;811305;811407 | | Вид требований | 21 - значение в словаре отсутствует | | Количество страниц (оригинала) | 99 | | Примечание | | |
|
|
Стандарт ОСТ4-054.058-80 входит в рубрики классификатора:
| | | | | |
|