| Обозначение | ОСТ3-4551-89 |
| Заглавие на русском языке | Пластины и слитки кремния монокристалического для фотоэлектрических полупроводниковых приемников излучения. Типовой технологический процесс химико-механической обработки |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.11.1989 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 31.080 |
| Код КГС | Т53 |
| Код ОКСТУ | 6304 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 471311 |
| Ключевые слова | полупроводниковые пластины - обработка - технологические процессы;технологические процессы;пластины кремния;слитки кремния;полупроводниковые приемники излучения;изготовление фоточуствительных элементов;химико-механическая обработка |
| Вид требований | Документ зарегистрирован без экспертного заключения |
| Обозначение заменяемого(ых) | ОСТ3-4551-80 |
| Количество страниц (оригинала) | 31 |
| Примечание | |
 |