ОСТ11-032.917-81 | | | Структуры кремниевые и арсенид-галлиевые эпитаксиальные. Измерение толщины тонких эпитаксиальных слоев методом ИК-эллипсометрии |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | ОСТ11-032.917-81 | | Заглавие на русском языке | Структуры кремниевые и арсенид-галлиевые эпитаксиальные. Измерение толщины тонких эпитаксиальных слоев методом ИК-эллипсометрии | | Дата введения в действие (опубликования) | 01.01.1982 | | Код КС (ОКС, МКС) | 29.045 | | Код КГС | Э29 | | Код ОКСТУ | 6240 | | Индекс рубрикатора ГРНТИ | 470181;470190;473331 | | Вид требований | 21 - значение в словаре отсутствует | | Количество страниц (оригинала) | 21 | | Примечание | | |
|
|
Изменения |
Стандарт ОСТ11-032.917-81 входит в рубрики классификатора:
| | | | | |
|