Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/3578970.aspx

ОСТ11-032.906-78

Полупроводниковые приборы. Измерение толщины пленок поликристаллического кремния на окисленной кремниевой подложке

Неактуализированная версияПоложить в корзину
Заказать перевод

Библиография

ОбозначениеОСТ11-032.906-78
Заглавие на русском языкеПолупроводниковые приборы. Измерение толщины пленок поликристаллического кремния на окисленной кремниевой подложке
Дата введения в действие (опубликования)01.07.1979
Код КС (ОКС, МКС)31.080
Код КГСЭ29
Код ОКСТУ6209
Индекс рубрикатора ГРНТИ 470181;470190
Вид требованийТребования единые гарантирующие конкурентноспособность на мировом рынке
Количество страниц (оригинала)11
Примечание

Стандарт ОСТ11-032.906-78 входит в рубрики классификатора: