| Обозначение | DIN EN 62047-2-2007 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 2. Метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006 |
| Дата опубликования | 01.02.2007 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62047-2(2004-08) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 14 |
| Перекрестные ссылки | ISO 6892(1998-03) |
| Код цены | Preisgruppe 9 |
 |