Обозначение | DIN 50434-1986 |
Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение дефектов монокристаллов кремния при помощи техники травления на поверхности (111) и (100) |
Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; detection of crystal defects in monocrystalline silicon using etching techniques on {111} and {100} surfaces |
Дата опубликования | 01.02.1986 |
МКС | 29.045 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50434(1976-01)*DIN 50434(1984-09) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 9 |
Перекрестные ссылки | DIN 50433-1(1976-12)*DIN 50443(1980-06)(Draft)*ASTM F 47(1982) |
Код цены | Preisgruppe 8 |
|