| Обозначение | DIN 50450-6-1994 |
| Заглавие на русском языке | Газы-носители и газы примесные, используемые при изготовлении полупроводников. Определение содержания СО и СО2 в азоте с помощью газовой хроматографии и ионизационного детектора |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of CO and CO<(Index)2> in nitrogen by gaschromatographie |
| Дата опубликования | 01.03.1994 |
| МКС | 71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-6(1992-09) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | |
| Код цены | Preisgruppe 5 |
 |