| Обозначение | DIN 32564-2-2004 |
| Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 2. Основные технологии и производство |
| Заглавие на английском языке | Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production |
| Дата опубликования | 01.05.2004 |
| МКС | 01.040.39*39.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32564-2(2003-06) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 5 |
| Перекрестные ссылки | DIN 8580(2003-09)*DIN 8593-0(2003-09)*VDI 2860(1990-05) |
| Код цены | Preisgruppe 6 |
 |