| Обозначение | DIN EN 62047-3-2007 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 3. Тонкопленочные стандартные образцы для испытаний на растяжение |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006); German version EN 62047-3:2006 |
| Дата опубликования | 01.02.2007 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62047-3(2004-08) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 9 |
| Перекрестные ссылки | IEC 62047-2(2006-08)*ISO 17561(2002-03) |
| Код цены | Preisgruppe 8 |
 |