Обозначение | DIN 50457-2-1999 |
Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение содержания компонентов в легированных газовых смесях с помощью мокрохимических методов. Часть 2. Фосфин в азотно-фосфиновых смесях |
Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the volume fraction of components in dopant gas mixtures by wet-chemical methods - Part 2: Phosphine in nitrogen phosphine mixtures |
Дата опубликования | 01.11.1999 |
МКС | 29.045 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50457-2(1998-01) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 3 |
Перекрестные ссылки | |
Код цены | Preisgruppe 5 |
 |