| Обозначение | DIN 32564-1-2004 |
| Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 1. Основные термины технологии производства микросистем |
| Заглавие на английском языке | Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology |
| Дата опубликования | 01.05.2004 |
| МКС | 01.040.39*39.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32564-1(2003-06) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 6 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32563(2002-03)*DIN EN ISO 14644-1(1999-07)*VDI 2083 Blatt 1(2003-06) |
| Код цены | Preisgruppe 7 |
 |