| Обозначение | DIN 32564-3-2004 |
| Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 3. Уход, хранение и транспортировка |
| Заглавие на английском языке | Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 3: Handling, storage and transport |
| Дата опубликования | 01.05.2004 |
| МКС | 01.040.39*39.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32564-3(2003-06) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 5 |
| Перекрестные ссылки | DIN 65099-9(1989-11)*DIN EN ISO 8373(1996-08)*VDI 2860(1990-05) |
| Код цены | Preisgruppe 6 |
 |