| Обозначение | ГОСТ 5.2105-73 |
| Полное обозначение | ГОСТ 5.2105-73 |
| Заглавие на русском языке | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
| Заглавие на английском языке | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
| Дата введения в действие | 01.09.1973 |
| Дата огр. срока действия | |
| ОКС | 31.260 |
| Код ОКП | 443500 |
| Код КГС | Э72 |
| Код ОКСТУ | 6687 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 5929 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
| Ключевые слова | |
| Термины и определения | |
| Наличие терминов РОСТЕРМ | |
| Вид стандарта | Стандарты на продукцию (услуги) |
| Вид требований | |
| Дескрипторы (английский язык) | |
| Обозначение заменяемого(ых) | |
| Обозначение заменяющего | |
| Обозначение заменяемого в части | |
| Обозначение заменяющего в части | |
| Гармонизирован с: | |
| Аутентичный текст с ISO | |
| Аутентичный текст с IEC | |
| Аутентичный текст с ГОСТ | |
| Аутентичный текст с прочими | |
| Содержит требования: ISO | |
| Содержит требования: IEC | |
| Содержит требования: СЭВ | |
| Содержит требования: ГОСТ | |
| Содержит требования: прочими | |
| Нормативные ссылки на: ISO | |
| Нормативные ссылки на: IEC | |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | |
| Документ внесен организацией СНГ | |
| Нормативные ссылки на: Прочие | |
| Документ принят организацией СНГ | |
| Номер протокола | |
| Дата принятия в МГС | |
| Присоединившиеся страны | |
| Управление Ростехрегулирования | 220 - Управление стандартизации и сертификации в машиностроении |
| Технический комитет России | |
| Разработчик МНД | Российская Федерация |
| Межгосударственный ТК | |
| Дата последнего издания | 04.10.1973 |
| Номер(а) изменении(й) | |
| Количество страниц (оригинала) | 13 |
| Организация - Разработчик | |
| Статус | Действует |
| Код цены | 2 |
| На территории РФ пользоваться | |
| Отменен в части | |
| Номер ТК за которым закреплен документ | 303 |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | 217 |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | 31.01.2023 |
 |