| Обозначение | ГОСТ Р 52250-2004 |
| Полное обозначение | ГОСТ Р 52250-2004 |
| Заглавие на русском языке | Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия |
| Заглавие на английском языке | Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications |
| Дата введения в действие | 01.01.2005 |
| Дата огр. срока действия | |
| ОКС | 71.080.99 |
| Код ОКП | 249642 |
| Код КГС | Э10 |
| Код ОКСТУ | |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |
| Ключевые слова | резист;чувствительность к излучению;разрешающая способность;состав параметров;сохраняемость;испытания;приемка |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Наличие терминов РОСТЕРМ | |
| Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
| Вид требований | Документ имеет отметку * |
| Дескрипторы (английский язык) | electronic engineering materials, resists, lithography processes, specifications |
| Обозначение заменяемого(ых) | |
| Обозначение заменяющего | |
| Обозначение заменяемого в части | |
| Обозначение заменяющего в части | |
| Гармонизирован с: | |
| Аутентичный текст с ISO | |
| Аутентичный текст с IEC | |
| Аутентичный текст с ГОСТ | |
| Аутентичный текст с прочими | |
| Содержит требования: ISO | |
| Содержит требования: IEC | |
| Содержит требования: СЭВ | |
| Содержит требования: ГОСТ | |
| Содержит требования: прочими | |
| Нормативные ссылки на: ISO | |
| Нормативные ссылки на: IEC | |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 2.114-95;ГОСТ 12.1.005-88;ГОСТ 12.1.007-76;ГОСТ 12.1.014-84;ГОСТ 33-2000;ГОСТ 3885-73;ГОСТ 7376-89;ГОСТ 10028-81;ГОСТ 13841-95;ГОСТ 14192-96;ГОСТ 14870-77;ГОСТ 17622-72;ГОСТ 19433-88;ГОСТ 22001-87;ГОСТ 27025-86;ГОСТ Р 50766-95 |
| Документ внесен организацией СНГ | Госстандарт России |
| Нормативные ссылки на: Прочие | |
| Документ принят организацией СНГ | |
| Номер протокола | |
| Дата принятия в МГС | |
| Присоединившиеся страны | |
| Управление Ростехрегулирования | 000 - Управление стандартизации |
| Технический комитет России | 303 - Изделия электронной техники, материалы и оборудование |
| Разработчик МНД | |
| Межгосударственный ТК | |
| Дата последнего издания | 02.07.2004 |
| Номер(а) изменении(й) | |
| Количество страниц (оригинала) | 31 |
| Организация - Разработчик | Открытое акционерное общество "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт"; Федеральное государственное унитарное предприятие "22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ" |
| Статус | Действует |
| Код цены | 3 |
| На территории РФ пользоваться | |
| Отменен в части | |
| Номер ТК за которым закреплен документ | 303 |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | 217 |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | 31.01.2023 |
 |