| Обозначение | ГОСТ 25196-82 |
| Полное обозначение | ГОСТ 25196-82 |
| Заглавие на русском языке | Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования |
| Заглавие на английском языке | Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements |
| Дата введения в действие | 01.07.1983 |
| Дата огр. срока действия | |
| ОКС | 23.160 |
| Код ОКП | 627335 |
| Код КГС | Э71 |
| Код ОКСТУ | 6273 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 4713 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники |
| Ключевые слова | оборудование вакуумное;установки для ионной имплантации |
| Термины и определения | |
| Наличие терминов РОСТЕРМ | |
| Вид стандарта | Стандарты на продукцию (услуги) |
| Вид требований | Документ имеет отметку * |
| Дескрипторы (английский язык) | |
| Обозначение заменяемого(ых) | |
| Обозначение заменяющего | |
| Обозначение заменяемого в части | |
| Обозначение заменяющего в части | |
| Гармонизирован с: | |
| Аутентичный текст с ISO | |
| Аутентичный текст с IEC | |
| Аутентичный текст с ГОСТ | |
| Аутентичный текст с прочими | |
| Содержит требования: ISO | |
| Содержит требования: IEC | |
| Содержит требования: СЭВ | СТ СЭВ 2760-80 |
| Содержит требования: ГОСТ | |
| Содержит требования: прочими | |
| Нормативные ссылки на: ISO | |
| Нормативные ссылки на: IEC | |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 24786-81 |
| Документ внесен организацией СНГ | |
| Нормативные ссылки на: Прочие | |
| Документ принят организацией СНГ | |
| Номер протокола | |
| Дата принятия в МГС | |
| Присоединившиеся страны | |
| Управление Ростехрегулирования | 220 - Управление стандартизации и сертификации в машиностроении |
| Технический комитет России | 249 - Вакуумная техника |
| Разработчик МНД | Российская Федерация |
| Межгосударственный ТК | |
| Дата последнего издания | 04.05.1982 |
| Номер(а) изменении(й) | |
| Количество страниц (оригинала) | 3 |
| Организация - Разработчик | |
| Статус | Действует |
| Код цены | 1 |
| На территории РФ пользоваться | |
| Отменен в части | |
| Номер ТК за которым закреплен документ | 249 |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | 3052 |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | 06.12.2022 |
 |