| Обозначение | ГОСТ Р 8.640-2008 |
| Полное обозначение | ГОСТ Р 8.640-2008 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
| Заглавие на английском языке | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Дата введения в действие | 01.01.2009 |
| Дата огр. срока действия | |
| ОКС | 17.020 |
| Код ОКП | |
| Код КГС | Т84 |
| Код ОКСТУ | 0008 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
| Ключевые слова | энергетическая освещенность;спектральная чувствительность;средства измерений;ультрафиолетовое излучение;радиометр;фотолитография |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Наличие терминов РОСТЕРМ | |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Вид требований | |
| Дескрипторы (английский язык) | state sysem, ensuring, uniformity, measurements, radiometer, ultraviolet radiation , photolithography, technological processes, testing, methods |
| Обозначение заменяемого(ых) | |
| Обозначение заменяющего | |
| Обозначение заменяемого в части | |
| Обозначение заменяющего в части | |
| Гармонизирован с: | |
| Аутентичный текст с ISO | |
| Аутентичный текст с IEC | |
| Аутентичный текст с ГОСТ | |
| Аутентичный текст с прочими | |
| Содержит требования: ISO | |
| Содержит требования: IEC | |
| Содержит требования: СЭВ | |
| Содержит требования: ГОСТ | |
| Содержит требования: прочими | |
| Нормативные ссылки на: ISO | |
| Нормативные ссылки на: IEC | |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001 |
| Документ внесен организацией СНГ | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт) |
| Нормативные ссылки на: Прочие | |
| Документ принят организацией СНГ | |
| Номер протокола | |
| Дата принятия в МГС | |
| Присоединившиеся страны | |
| Управление Ростехрегулирования | 2 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии |
| Разработчик МНД | |
| Межгосударственный ТК | |
| Дата последнего издания | 15.05.2008 |
| Номер(а) изменении(й) | |
| Количество страниц (оригинала) | 15 |
| Организация - Разработчик | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ) |
| Статус | Действует |
| Код цены | 2 |
| На территории РФ пользоваться | |
| Отменен в части | |
| Номер ТК за которым закреплен документ | |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | |
 |