Обозначение | DIN 50438-3-1984 |
Заглавие на русском языке | Кремний для полупроводниковых приборов. Определение содержания загрязняющего бора и фосфора методом инфракрасной абсорбции |
Заглавие на английском языке | Testing of materials for use in semiconductor technology; determination of interstitial atomic boron and phosphorus content of silicon by infrared absorption spectroscopy |
Дата опубликования | 01.02.1984 |
МКС | 29.045 |
Вид стандарта | ST*N |
Обозначение заменяющего | DIN 50438-3-2000 |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 4 |
Количество страниц перевода | 12 |
Перекрестные ссылки | DIN 50431*DIN 50438-1*DIN 50438-2*DIN 50444 |
Код цены | Preisgruppe 5 |
|