| Обозначение | IEC 62047-12(2011) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 12. Метод испытания на усталость при сгибании тонкопленочных материалов с использованием структур MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 13.09.2011 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 64 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | G |
 |