| Обозначение | IEC 62047-13(2012) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 13. Методы измерения прочности сцепления при испытании на изгиб и сдвиг микроэлектромеханических структур MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend - and shear - type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 28.02.2012 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 34 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |