| Обозначение | IEC 62047-10(2011)/Cor.1(2012) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 10. Испытание на сжатие микро - колонн для материалов микроэлектромеханических систем MEMS. Поправка 1 |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials. Corrigendum 1 |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого в части | IEC 62047-10(2011) |
| Дата опубликования | 28.02.2012 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 1 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | * |
 |