| Обозначение | IEC 62047-14(2012) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 28.02.2012 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 38 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | E |
 |