| Обозначение | IEC 62047-11(2013) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 11. Метод испытания на коэффициенты линейного теплового расширения автономного материала для микроэлектромеханических систем |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 17.07.2013 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 42 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | E |
 |