| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-3:2007 03 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 3. Тонкопленочные стандартные образцы для испытаний на растяжение |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006) |
| Код МКС | 31.080.99 |
| Дата опубликования | 01.03.2007 |
| Язык оригинала | немецкий |
 |