Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-6:2010 08 01 |
Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009) (german version) |
Код МКС | 31.080.99 |
Дата опубликования | 01.08.2010 |
Язык оригинала | немецкий |
![](/i/imgs/sp.gif) |