Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-8:2012 02 01 |
Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электро-механические приборы. Часть 8. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
(IEC 62047-8:2011) (german version) |
Код МКС | 31.080.99 |
Дата опубликования | 01.02.2012 |
Язык оригинала | немецкий |
|