| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-12:2012 08 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 12. Метод испытания на усталость при сгибании тонкопленочных материалов с использованием структур MEMS
|
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011) (english version) |
| Код МКС | 31.080.99 |
| Дата опубликования | 01.08.2012 |
| Язык оригинала | английский |
 |