| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-6:2010 08 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009) (english version) |
| Код МКС | 31.080.99 |
| Дата опубликования | 01.08.2010 |
| Язык оригинала | английский |
 |