| Обозначение | IEC 62047-22(2014) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 22. Метод испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 19.06.2014 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 24 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | C |
 |