Обозначение | ONORM EN ISO 14644-9:2012 11 01 |
Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9: Классификация воздушных молекулярных примесей |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012) |
Код МКС | 13.040.35 |
Дата опубликования | 01.11.2012 |
Язык оригинала | немецкий |
![](/i/imgs/sp.gif) |