| Обозначение | ONORM EN ISO 25178-603:2013 12 15 |
| Заглавие на русском языке | Геометрические характеристики изделий (GPS). Структура поверхности: Ареал. Часть 603. Номинальные характеристики неконтактных инструментов (инферометрическая микроскопия с фазовращением) |
| Заглавие на английском языке | Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013) |
| Код МКС | 17.040.20 |
| Дата опубликования | 15.12.2013 |
| Язык оригинала | немецкий |
 |