Обозначение | ONORM EN ISO 14644-10:2013 06 15 |
Заглавие на русском языке | Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхности по концентрации химических веществ |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013) |
Код МКС | 13.040.35 |
Дата опубликования | 15.06.2013 |
Язык оригинала | немецкий |
![](/i/imgs/sp.gif) |