| Обозначение | IEC 62047-15(2015) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 15. Метод определения силы сцепления между PDMS и стеклом |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 05.03.2015 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 26 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Отменен |
| Код цены | C |
 |