Обозначение | ISO 14644-2:2015 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Текущий контроль для подтверждения постоянного соответствия чистоты воздуха по концентрации частиц |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration |
Код КС (ОКС, МКС) | 13.040.35 |
Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14644-2:2000 |
ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 2 |
Дата опубликования | 09.12.2015 |
Количество страниц оригинала | 22 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает минимальные требования к текущему контролю чистых помещений и чистых зон в отношении чистоты воздуха по концентрации частиц, основываясь на параметрах, которые показывают или влияют на концентрацию частиц.
Настоящий стандарт не устанавливает требования к текущему контролю таких факторов, как вибрация или общее техническое обслуживание инженерных систем. Он не распространяется на текущий контроль концентрации частиц с размерами, меньшими пороговых размеров от 0,1 до 5,0 мкм. Концентрации ультрамелких частиц (с размерами менее 0,1 мкм) будут рассмотрены в другом стандарте. |
Количество страниц перевода | 22 |
Код цены | C |
Примечание | |
 |