| Обозначение | IEC 62047-26(2016) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 26. Методы описания и измерения микрощелевых и игольчатых структур |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 07.01.2016 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 62 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | G |
 |