| Обозначение | ОСТ11-032.059-77 |
| Заглавие на русском языке | Структуры кремниевые эпитаксиальные.Определение плотности дефектов упаковки и плотности дислокаций в эпитаксиальных слоях толщиной более 2,5 мкм |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.01.1978 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 290.35.30 |
| Код КГС | Э19 |
| Код ОКСТУ | 6290 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 470181;470190 |
| Вид требований | Требования единые гарантирующие конкурентноспособность на мировом рынке |
| Количество страниц (оригинала) | 24 |
 |