| Обозначение | ОСТ11-032.917-81 |
| Заглавие на русском языке | Структуры кремниевые и арсенид-галлиевые эпитаксиальные. Измерение толщины тонких эпитаксиальных слоев методом ИК-эллипсометрии |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.01.1982 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 29.045 |
| Код КГС | Э29 |
| Код ОКСТУ | 6240 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 470181;470190;473331 |
| Вид требований | 21 - значение в словаре отсутствует |
| Количество страниц (оригинала) | 21 |
 |