Обозначение | DIN 50450-7-1995 |
Заглавие на русском языке | Газы-носители и газы примесные, используемые при изготовлении полупроводников. Определение содержания СО и Н2 в азоте с помощью газовой хроматографии |
Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 7: Determination of CO and H<(Index)2> in nitrogen by gaschromatography and reduction gasdetector |
Дата опубликования | 01.04.1995 |
МКС | 71.100.20 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-7(1993-12) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 2 |
Перекрестные ссылки | |
Код цены | Preisgruppe 5 |
 |